美, 중국에 EUV 이어 DUV 장비도 수출금지

  • 등록 2026.04.09 13:45:41
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화웨이, 중신궈지, 창장춘추, 창신메모리 등 대상될 듯
中반도체산업, 생산라인 구축 및 공급망 차단 목적에 긴장

 

미국 의회가 중국 반도체 산업을 겨냥한 새로운 규제 법안을 추진하면서 중국 반도체 업체들이 긴장하고 있다.


9일 중국 반도체 업계에 따르면 미국 하원에서 ‘하드웨어 기술 다자간 조정 통제법(MATCH Act)' 초안이 발의됐다.


이 법안은 그동안 행정부 차원의 임시 조치로 시행돼 온 대중국 반도체 제재를 의회 입법을 통해 제도화·장기화하려는 것이 핵심이다.


중국 반도체 업계에서는 이 법안에 대해 가장 강력한 반도체 규제라는 평가가 나오고 있다.


법안의 타깃은 중국 반도체 산업의 핵심 장비인 심자외선(DUV) 노광장비다. 그간 미국 규제는 주로 극자외선(EUV) 노광장비에 집중됐다. DUV 장비는 일부 첨단 모델만 제한됐다.


하지만 MATCH 법안은 DUV 장비의 수출을 전면 금지하고 있다.


특히 화웨이(华为), 중신궈지(中芯国际), 창장춘추(长江存储), 창신메모리(长鑫存储), 화홍(华虹)반도체 등 중국 핵심 반도체 업체 5곳의 대상이다. DUV 노광장비뿐 아니라 식각 장비 등 주요 공정 장비 수출이 금지된다.


MATCH 법안 조항 중 ‘장외 적용(장거리 관할)’이 중국 반도체 업계에 가장 큰 영향을 미칠 것으로 보인다. 네덜란드, 일본 등 동맹국에 대해 150일 이내에 미국과 동일한 수준의 대중 반도체 장비 수출 통제 도입을 요구하고 있다.


만약 이를 이행하지 않을 경우 미국은 ‘외국 직접 제품 규칙(FDPR)’을 적용, 미국 기술이나 부품이 포함된 장비의 대중 수출을 직접 제한할 수 있다.


미국은 이미 2021년 말부터 첨단 반도체 장비에 대한 대중 수출 통제를 시행해 왔다. 현재 규정에 따르면 14나노 이하 로직 반도체, 18나노급 D램, 128단 이상 낸드플래시 생산에 사용 가능한 장비는 미국의 수출 허가를 받아야 한다.


이번 법안은 장비의 거래, 사용, 재수출, 유지보수 등 전 생애주기를 규제 대상에 포함시켰고, 중간상을 통한 우회 조달도 차단하도록 설계됐다. 규정을 위반할 경우 해당 기업은 향후 장비 구매와 유지보수 자격을 상실하게 된다.


중국 반도체업계에서는 이번 법안의 궁극적 목표가 중국 반도체 기업들의 세계적 수준의 생산라인 구축과 안정적인 공급망 확보를 차단하는 데 있다고 보고 있다.


특히 이 법안이 중국 반외국제재법과 충돌, 이에 상응하는 조치를 취할 수 있다는 입장을 표명하고 있다.

조영신 yscho@raonnews.com
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